TiO₂基紫外探测器的制备及退火工艺对光电性能的影响

来源期刊：航空材料学报2012年第2期

论文作者：祁洪飞 刘大博

文章页码：82 - 86

关键词：TiO2;紫外探测器;退火工艺;光电性能;

摘    要：采用磁控溅射方法,通过不同工艺的退火处理,制备了光电性能优良的TiO2基紫外探测器。通过紫外光电性能测试、扫描电子显微镜(SEM)观察及X射线衍射(XRD)分析,研究了退火工艺对探测器光电性能的影响规律。结果表明:随着退火温度的增加,TiO2晶粒尺寸显著增大,晶界和缺陷数量的变化是导致TiO2基紫外探测器的光电性能随退火工艺变化的根本原因。经500℃/2h退火后,紫外探测器的光电流高出暗电流近2.5个数量级,紫外波段的光响应高出可见光波段近2个数量级,所制备紫外探测器达到了高辐射灵敏度和可见盲特性的要求。