热丝CVD法制备大面积金刚石薄膜基片的变形
来源期刊：机械工程材料2011年第7期
论文作者：陈峰武 周灵平 朱家俊 李德意 彭坤 李绍禄
文章页码：35 - 38
关键词：金刚石薄膜;热丝CVD;变形;均匀性;
摘 要：采用热丝CVD法制备的大面积金刚石薄膜存在基片变形严重的问题,通过对热丝CVD设备和沉积工艺进行改进,成功解决了直径76mm、厚度0.4mm硅片的变形问题。结果表明:改进后金刚石薄膜基片的翘曲度为0.296%,比改进前的降低了88.9%;改进后金刚石薄膜的质量及晶粒大小均匀,膜厚不均匀度仅为1.53%,具有优异的大面积均匀性。
陈峰武，周灵平，朱家俊，李德意，彭坤，李绍禄
湖南大学材料科学与工程学院
摘 要：采用热丝CVD法制备的大面积金刚石薄膜存在基片变形严重的问题,通过对热丝CVD设备和沉积工艺进行改进,成功解决了直径76mm、厚度0.4mm硅片的变形问题。结果表明:改进后金刚石薄膜基片的翘曲度为0.296%,比改进前的降低了88.9%;改进后金刚石薄膜的质量及晶粒大小均匀,膜厚不均匀度仅为1.53%,具有优异的大面积均匀性。
关键词：金刚石薄膜;热丝CVD;变形;均匀性;
