国内外光刻胶产业分析及发展建议
来源期刊：功能材料与器件学报2020年第6期
论文作者：朱宇波
关键词：光刻胶;集成电路制造;产业分析;
摘 要：光刻胶是集成电路光刻工艺中的关键材料,光刻胶产业具有很高的技术壁垒,市场基本被国外企业垄断。近年来,随着集成电路芯片制造产能向中国大陆转移,我国对光刻胶的需求稳步增加,实现进口替代的需求迫切。本文针对光刻胶产业,从全球产业情况、相关产业巨头、产业特点以及国内光刻胶产业面临的问题方面进行综合阐述,最后提供了国内光刻胶产业的发展建议。
朱宇波1
1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
摘 要：光刻胶是集成电路光刻工艺中的关键材料,光刻胶产业具有很高的技术壁垒,市场基本被国外企业垄断。近年来,随着集成电路芯片制造产能向中国大陆转移,我国对光刻胶的需求稳步增加,实现进口替代的需求迫切。本文针对光刻胶产业,从全球产业情况、相关产业巨头、产业特点以及国内光刻胶产业面临的问题方面进行综合阐述,最后提供了国内光刻胶产业的发展建议。
关键词：光刻胶;集成电路制造;产业分析;
