PECVD生长纳米硅薄膜的X射线衍射分析
来源期刊：理化检验物理分册2004年第4期
论文作者：张林春 吴则嘉 杨晟远 宓小川 刘晓晗 陈英颖
关键词：X射线衍射; 等离子增强化学沉积; 纳米硅薄膜; 相; 晶粒尺寸; 微观畸变;
摘 要：等离子增强化学沉积生长的纳米硅薄膜是由纳米级尺寸的晶粒和晶界组成的厚度极薄的薄膜,采用X射线薄膜衍射法即X射线以低掠射角(1°～5°)入射,延长X射线在薄膜中的行程,同时将聚焦光路改为平行光光路,以提高来自薄膜的衍射强度,得到纳米硅薄膜的衍射峰.借此方法,研究了本征膜和掺磷薄膜的硅晶体结构及掺磷浓度对硅晶粒大小和晶格微观畸变的影响.
张林春1，吴则嘉1，杨晟远1，宓小川2，刘晓晗1，陈英颖2
(1.上海维安新材料研究中心有限公司,上海,200082;
2.宝山钢铁股份公司技术中心分析测试研究中心,上海,201900)
摘要:等离子增强化学沉积生长的纳米硅薄膜是由纳米级尺寸的晶粒和晶界组成的厚度极薄的薄膜,采用X射线薄膜衍射法即X射线以低掠射角(1°～5°)入射,延长X射线在薄膜中的行程,同时将聚焦光路改为平行光光路,以提高来自薄膜的衍射强度,得到纳米硅薄膜的衍射峰.借此方法,研究了本征膜和掺磷薄膜的硅晶体结构及掺磷浓度对硅晶粒大小和晶格微观畸变的影响.
关键词:X射线衍射; 等离子增强化学沉积; 纳米硅薄膜; 相; 晶粒尺寸; 微观畸变;
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