粒状多晶硅生产概况
来源期刊：中国有色冶金2001年第3期
论文作者：汤传斌
文章页码：29 - 73
关键词：粒状多晶硅;MEMCPasadena;直拉单晶硅;
摘 要：阐述了粒状多晶硅生产的基本原理、生产工艺以及美国 MEMC Pasadena公司的粒状多晶硅的生产情况 ,并就粒状多晶硅生产过程中的质量控制措施、以粒状多晶硅为原料生产直拉单晶硅所具有的优势以及粒状多晶硅的发展前景提出了一些看法
汤传斌
北京有色冶金设计研究总院!北京100038
摘 要：阐述了粒状多晶硅生产的基本原理、生产工艺以及美国 MEMC Pasadena公司的粒状多晶硅的生产情况 ,并就粒状多晶硅生产过程中的质量控制措施、以粒状多晶硅为原料生产直拉单晶硅所具有的优势以及粒状多晶硅的发展前景提出了一些看法
关键词：粒状多晶硅;MEMCPasadena;直拉单晶硅;
