TiO2-KTaO3复合薄膜制备与湿敏传感性质研究
来源期刊：功能材料2007年第5期
论文作者：冯庆 杨晓红 刘高斌 王新强
关键词：湿度传感器; 溶胶凝胶法; 旋涂法; TiO2; KTaO3;
摘 要：通过溶胶凝胶法和旋涂法制备了单层和双层TiO2-KTaO3薄膜,并在不同的温度下退火1h,研究了该薄膜的湿敏传感特性.通过扫描电镜和X射线衍射研究了薄膜的形态特性,发现该薄膜具有纳米颗粒和毛细多孔结构.环境湿度变化从12%RH～97%RH的变化过程中,在500℃下退火的TiO2/KTaO3薄膜具有很高的灵敏度.对比单层薄膜,双层薄膜显示出有更大的电阻变化范围.还研究了TiO2/KTaO3薄膜的湿敏传感机理.
冯庆1，杨晓红2，刘高斌1，王新强1
(1.重庆大学,数理学院,重庆,400044;
2.重庆师范大学,物理系,重庆,400046)
摘要:通过溶胶凝胶法和旋涂法制备了单层和双层TiO2-KTaO3薄膜,并在不同的温度下退火1h,研究了该薄膜的湿敏传感特性.通过扫描电镜和X射线衍射研究了薄膜的形态特性,发现该薄膜具有纳米颗粒和毛细多孔结构.环境湿度变化从12%RH～97%RH的变化过程中,在500℃下退火的TiO2/KTaO3薄膜具有很高的灵敏度.对比单层薄膜,双层薄膜显示出有更大的电阻变化范围.还研究了TiO2/KTaO3薄膜的湿敏传感机理.
关键词:湿度传感器; 溶胶凝胶法; 旋涂法; TiO2; KTaO3;
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