(Ti,Al)N涂层应力沿层深分布的调整及大厚度涂层的制备
来源期刊：金属学报2012年第3期
论文作者：赵升升 程毓 常正凯 王铁钢 孙超
文章页码：277 - 282
关键词：(Ti,A1)N;硬质涂层;应力分布;调整应力;N2分压;
摘 要：利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上制备了（Ti,Al）N涂层,研究了N2分压改变对涂层残余应力沿层深分布及相关力学性能的影响.结果表明,低N2分压下,（Ti,Al）N涂层残余应力沿层深分布较均匀,随N2分压的增加,涂层应力沿层深呈"钟罩型"分布,且全膜厚的应力值也明显增大;通过对涂层生长结构及微观成分分析,初步探讨了应力分布机理.随N2分压的增加,涂层硬度会显著增加,而膜/基结合力则大幅下降;采用改变N2分压工艺制备（Ti,Al）N涂层,可有效调整涂层残余应力沿层深分布趋势,改善其力学性能,并可成功制备厚度在130μm以上的硬质涂层.
赵升升1，程毓1，常正凯2，王铁钢2，孙超2
1. 深圳职业技术学院2. 中国科学院金属研究所
摘 要：利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上制备了（Ti,Al）N涂层,研究了N2分压改变对涂层残余应力沿层深分布及相关力学性能的影响.结果表明,低N2分压下,（Ti,Al）N涂层残余应力沿层深分布较均匀,随N2分压的增加,涂层应力沿层深呈"钟罩型"分布,且全膜厚的应力值也明显增大;通过对涂层生长结构及微观成分分析,初步探讨了应力分布机理.随N2分压的增加,涂层硬度会显著增加,而膜/基结合力则大幅下降;采用改变N2分压工艺制备（Ti,Al）N涂层,可有效调整涂层残余应力沿层深分布趋势,改善其力学性能,并可成功制备厚度在130μm以上的硬质涂层.
关键词：(Ti,A1)N;硬质涂层;应力分布;调整应力;N2分压;
