ZnO多孔纳米固体厚膜气敏传感器的制备和性质表征
来源期刊：功能材料2004年增刊第1期
论文作者：余丽丽 刘秀琳 蒋民华 李梅 崔得良 王成建 徐红燕
关键词：ZnO多孔纳米固体; 气敏传感器; 响应时间;
摘 要：以ZnO纳米粉(平均粒径30nm)为原料,利用水热热压方法制备了多孔的ZnO体块纳米固体,测试了以多孔纳米固体为原料制成的厚膜气敏传感器对挥发性有机化合物(VOCs)乙醇、丙酮、苯、甲苯和二甲苯蒸气的气敏特性,并与用ZnO纳米粉制备的厚膜传感器进行了比较.结果发现,与ZnO纳米粉相比,用ZnO多孔纳米固体制备的厚膜传感器在空气中的电阻大大减小,最佳敏感温度降低、响应时间和恢复时间大大缩短.通过综合分析ZnO纳米粉和ZnO多孔纳米固体的XRD、TEM及厚膜传感器的SEM测试结果研究了厚膜传感器气敏特性的差异.
余丽丽1，刘秀琳2，蒋民华2，李梅2，崔得良2，王成建1，徐红燕2
(1.山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250100;
2.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100)
摘要:以ZnO纳米粉(平均粒径30nm)为原料,利用水热热压方法制备了多孔的ZnO体块纳米固体,测试了以多孔纳米固体为原料制成的厚膜气敏传感器对挥发性有机化合物(VOCs)乙醇、丙酮、苯、甲苯和二甲苯蒸气的气敏特性,并与用ZnO纳米粉制备的厚膜传感器进行了比较.结果发现,与ZnO纳米粉相比,用ZnO多孔纳米固体制备的厚膜传感器在空气中的电阻大大减小,最佳敏感温度降低、响应时间和恢复时间大大缩短.通过综合分析ZnO纳米粉和ZnO多孔纳米固体的XRD、TEM及厚膜传感器的SEM测试结果研究了厚膜传感器气敏特性的差异.
关键词:ZnO多孔纳米固体; 气敏传感器; 响应时间;
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