氦、氩、氪低压激光诱导等离子体激发的空间解析发射图谱的比较
来源期刊:冶金分析2009年第3期
论文作者:WAGATSUMA Kazuaki KITAOKA Chizuru
关键词:激光诱导等离子体; 发射光谱法; 二维图像; 空间分布; 铜; 氪; 氩; 氦;
摘 要:采用二维成像光谱仪系统,研究了铜(样品)和不同氪、氩或氦气压下激光诱导等离子体气体的发射强度空间分布.发射区的形状和强度完全取决于等离子体气体的种类和气压.这些等离子体气体的发射区基本上集中在样品表面附近,而铜样品的发射区则朝周围的气体扩展.氩或氪气压越高,铜线的发射强度越强;而对于氦等离子体,气压越大,铜线的发射强度越弱.上述效应可以通过氪、氩和氦在碰撞激发剖面图上的差别来解释.
WAGATSUMA Kazuaki1,KITAOKA Chizuru1
(1.日本东北大学材料研究学院,日本仙台,980-8577)
摘要:采用二维成像光谱仪系统,研究了铜(样品)和不同氪、氩或氦气压下激光诱导等离子体气体的发射强度空间分布.发射区的形状和强度完全取决于等离子体气体的种类和气压.这些等离子体气体的发射区基本上集中在样品表面附近,而铜样品的发射区则朝周围的气体扩展.氩或氪气压越高,铜线的发射强度越强;而对于氦等离子体,气压越大,铜线的发射强度越弱.上述效应可以通过氪、氩和氦在碰撞激发剖面图上的差别来解释.
关键词:激光诱导等离子体; 发射光谱法; 二维图像; 空间分布; 铜; 氪; 氩; 氦;
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