简介概要

氧化物薄膜电化学沉积的研究进展

来源期刊：材料保护2002年第2期

论文作者：叶皓赵景茂熊金平左禹

关键词：电化学沉积; 氧化物薄膜; 工艺条件;

摘要：综述了氧化物薄膜电化学沉积的工艺条件与参数及其影响,给出了氧化物薄膜沉积的对象,描述了氧化物薄膜的作用和用途.

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叶皓¹，赵景茂¹，熊金平¹，左禹¹

(1.北京化工大学材料科学与工程学院,北京,100029;
2.孝感学院,湖北孝感,432100;
3.教育部环境断裂重点实验室,北京,100083)

摘要:综述了氧化物薄膜电化学沉积的工艺条件与参数及其影响,给出了氧化物薄膜沉积的对象,描述了氧化物薄膜的作用和用途.

关键词:电化学沉积; 氧化物薄膜; 工艺条件;

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