高温刻蚀硼掺杂金刚石电极材料的形貌与电化学性能

来源期刊：粉末冶金材料科学与工程2020年第2期

论文作者：刘婷 苗冬田 魏秋平 马莉

文章页码：164 - 170

关键词：热丝化学气相沉积法;硼掺杂金刚石;刻蚀;热处理;活性蓝19;

摘    要：采用热丝化学气相沉积法在硅表面制备硼掺杂金刚石电极薄膜,在800℃热处理氧化刻蚀后,得到表面具有不规则孔隙结构的多孔硼掺杂金刚石薄膜电极,研究热处理刻蚀时间对电极表面形貌及材料内sp~3相碳与sp~2相碳的比例(sp~3/sp~2)的影响。结果表明,热处理的最佳时间为30min,热处理后电极的电化学活性面积是未经热处理电极的2.14倍。用硼掺杂金刚石电极对以活性蓝19作为目标有机物废水进行降解,经过热处理的电极对活性蓝19色度移除率是未经热处理电极的2.43倍,废水中的化学需氧量移除率是未经热处理电极的1.89倍,且达到相同化学需氧量移除率的能耗低于未处理电极的能耗。该刻蚀技术未造成硼掺杂金刚石电极表面污染,适用于大面积刻蚀以提高电极比表面积,在水处理领域具有广阔的应用前景。