采用紫外光刻电铸技术的微型腔注塑成型

徐斌¹，王敏杰²，于同敏²，赵丹阳²

1. 西南科技大学制造过程测试技术教育部重点实验室2. 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室

摘 要：针对复杂微型腔制作的难点,基于紫外光刻电铸（UV-LIGA）技术和掩膜腐蚀的方法加工了细胞皿微型腔。以聚丙烯（PP）进行单因素充模流动工艺试验,通过极差分析,研究了注射速率、模具温度、熔体温度、保压压力和保压时间对微制品成型质量的影响规律。注射速率对提高充填率起主要作用,模具温度和熔体温度是次要因素,而保压压力和保压时间相对其它因素对充填质量影响较差,但必须保持在一个较高的水平。在获取优化工艺参数后,获得合格的制品。因此基于UV-LIGA技术和掩膜腐蚀的方法制作复杂结构微型腔对于微注塑成型是可行的。

关键词：微注塑成型;细胞皿;紫外光刻电铸;成型工艺;