真空离子镀金靶材成分和性能的研究
来源期刊：材料与冶金学报2000年第3期
论文作者：高科 刘革 常占河
文章页码：170 - 172
关键词：金靶材;成分;性能;
摘 要：在纯金中加入了银、铟、镍、钯等几种合金元素制成金合金靶材 ,改善了镀膜色度值和耐磨性等理化指标 ,获得了多种色度 ,色度值达到了 ISO-8654标准 ,提高了镀层的使用寿命 .
高科，刘革，常占河
摘 要：在纯金中加入了银、铟、镍、钯等几种合金元素制成金合金靶材 ,改善了镀膜色度值和耐磨性等理化指标 ,获得了多种色度 ,色度值达到了 ISO-8654标准 ,提高了镀层的使用寿命 .
关键词：金靶材;成分;性能;
