栅结构微陀螺大角速度信号输入下分辨率的研究
来源期刊：功能材料与器件学报2003年第4期
论文作者：熊斌 王跃林 车录锋 付盛荣
关键词：陀螺; 电容式; 检测; 分辨率;
摘 要：主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响.在0.01-200o/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01o/s的输入角速度变化.考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的特性差异的影响后,当输入角速度大于10o/s时,整个系统即无法分辨0.01o/s的输入角速度变化.针对这种情况,提出了在传感器件上集成关键元件的方法来解决大角速度信号输入下整个系统分辨率降低的问题.
熊斌1，王跃林1，车录锋1，付盛荣1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050)
摘要:主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响.在0.01-200o/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01o/s的输入角速度变化.考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的特性差异的影响后,当输入角速度大于10o/s时,整个系统即无法分辨0.01o/s的输入角速度变化.针对这种情况,提出了在传感器件上集成关键元件的方法来解决大角速度信号输入下整个系统分辨率降低的问题.
关键词:陀螺; 电容式; 检测; 分辨率;
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