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纳米晶复合氧化物湿敏元件的特性研究

来源期刊：材料科学与工程学报2000年增刊第2期

论文作者：高鼎三张彤刘国范任辉董玮徐宝琨王兢

关键词：纳米晶; 相对湿度; 复阻抗; 电介质; 极化;

摘要：利用纳米复合氧化物Ba0.5Sr0.5TiO3材料制作了电阻型湿度敏感元件,对元件进行湿敏特性测试后表明:该元件的阻抗-湿度特性良好,电阻范围适中,湿滞小,不需加热清洗.同时研究了其直流充电-放电特性和交流复阻抗特性,分析了敏感机理.

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高鼎三¹，张彤¹，刘国范¹，任辉¹，董玮¹，徐宝琨¹，王兢¹

(1.吉林大学电子工程系集成光电子国家重点联合实验室,长春,130023)

摘要:利用纳米复合氧化物Ba0.5Sr0.5TiO3材料制作了电阻型湿度敏感元件,对元件进行湿敏特性测试后表明:该元件的阻抗-湿度特性良好,电阻范围适中,湿滞小,不需加热清洗.同时研究了其直流充电-放电特性和交流复阻抗特性,分析了敏感机理.

关键词:纳米晶; 相对湿度; 复阻抗; 电介质; 极化;

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