VO₂薄膜相变温度调节方法及机理

侯典心^1,2,3，路远^1,2,3，杨玚^1,2,3

1. 解放军电子工程学院2. 红外与低温等离子体安徽省重点实验室3. 脉冲功率激光技术国家重点实验室

摘 要：VO₂是一种相变温度为68℃（接近室温）的热致相变材料,具有十分广泛的潜在应用价值。但68℃相较于环境温度仍显得较高,而且不同的应用环境对相变温度有不同的需求,因此针对VO₂薄膜相变温度调节问题的研究很有必要。详细介绍了元素掺杂、引入离子液体、氢化处理、界面应力调节等相变温度调节方法并阐述了其各自相变温度调节机理,同时比较了这几种方法的优缺点,并对未来研究方向作出展望,为今后VO2薄膜的制备与应用研究提供了重要参考。

关键词：二氧化钒;相变温度调节;元素掺杂;引入离子液体;氢化处理;界面应力;