掺杂对类金刚石薄膜性能的影响
来源期刊:材料导报2004年增刊第2期
论文作者:王立达 刘贵昌 邓新绿
关键词:类金刚石(DLC) 掺杂 改性 性能;
摘 要:类金刚石膜具有良好的机械性能、电学性能、光学性能、摩擦学性能、热学和化学性能以及生物相容性.为了进一步挖掘并改善类金刚石膜潜在性能,人们在类金刚石膜中掺入不同元素并研究了膜性能变化.总结了掺杂对类金刚石膜性能的影响.
王立达1,刘贵昌1,邓新绿2
(1.大连理工大学化工学院,大连,116012;
2.大连理工大学三束改性国家重点实验室,大连,116012)
摘要:类金刚石膜具有良好的机械性能、电学性能、光学性能、摩擦学性能、热学和化学性能以及生物相容性.为了进一步挖掘并改善类金刚石膜潜在性能,人们在类金刚石膜中掺入不同元素并研究了膜性能变化.总结了掺杂对类金刚石膜性能的影响.
关键词:类金刚石(DLC) 掺杂 改性 性能;
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