Cu缓蚀剂协同效应研究进展
来源期刊:腐蚀科学与防护技术2017年第5期
论文作者:张艳华 陈修宁 王淑萍 黄志齐 黄京华 贺承相
文章页码:551 - 560
关键词:Cu缓蚀剂;协同效应;协同机理;
摘 要:介绍了缓蚀剂的协同效应,总结了近年来国内外Cu混合缓蚀剂部分研究进展,对其协同效应及协同机理进行简要的概括,对未来Cu缓蚀剂协同效应的研究方向提出展望。
张艳华,陈修宁,王淑萍,黄志齐,黄京华,贺承相
摘 要:介绍了缓蚀剂的协同效应,总结了近年来国内外Cu混合缓蚀剂部分研究进展,对其协同效应及协同机理进行简要的概括,对未来Cu缓蚀剂协同效应的研究方向提出展望。
关键词:Cu缓蚀剂;协同效应;协同机理;