物理气相沉积薄膜应力产生机理的理论分析
来源期刊：功能材料2006年第12期
论文作者：徐可为 房永思 唐武 邓龙江 翁小龙
关键词：薛定谔方程; 原子云; 薄膜; 残余应力;
摘 要：在一维线性谐振子模型基础上,应用薛定谔方程分析了晶体中原子的概率分布;将晶体中原子的概率分布定义为原子云,解释了物理气相沉积法制备薄膜时残余应力产生的原因,建立了薄膜残余应力产生机理的理论模型.
徐可为1，房永思2，唐武2，邓龙江2，翁小龙2
(1.西安交通大学,金属材料强度国家重点实验室,陕西,西安,710049;
2.电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川,成都,610054)
摘要:在一维线性谐振子模型基础上,应用薛定谔方程分析了晶体中原子的概率分布;将晶体中原子的概率分布定义为原子云,解释了物理气相沉积法制备薄膜时残余应力产生的原因,建立了薄膜残余应力产生机理的理论模型.
关键词:薛定谔方程; 原子云; 薄膜; 残余应力;
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