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用CVD法在陶瓷颗粒表面获得TiN涂层与应用

来源期刊：复合材料学报1998年第4期

论文作者：郑燕青鲍崇高邢建东王恩泽

关键词：化学气相沉积; TiN涂层; 氧化铝颗粒; 耐热钢基体; 复合材料;

摘要：研制了适合陶瓷颗粒表面涂层处理的化学气相沉积装置,并探索了在氧化铝颗粒表面获得TiN涂层的工艺;所获得的TiN涂层能提高耐热钢在氧化铝颗粒间的铸渗深度,并使颗粒得到基体的牢固支撑.氧化铝颗粒体积分数在23%～57%可调.

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郑燕青¹，鲍崇高¹，邢建东¹，王恩泽¹

(1.西安交通大学机械工程学院,西安,710049)

摘要:研制了适合陶瓷颗粒表面涂层处理的化学气相沉积装置,并探索了在氧化铝颗粒表面获得TiN涂层的工艺;所获得的TiN涂层能提高耐热钢在氧化铝颗粒间的铸渗深度,并使颗粒得到基体的牢固支撑.氧化铝颗粒体积分数在23%～57%可调.

关键词:化学气相沉积; TiN涂层; 氧化铝颗粒; 耐热钢基体; 复合材料;

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