透射模式电子背散射衍射技术在纳米材料研究中的应用
来源期刊：无机材料学报2015年第8期
论文作者：刘紫微 华佳捷 林初城 姜彩芬 曾毅
文章页码：833 - 837
关键词：透射模式电子背散射衍射;高分辨率;相鉴定;纳米材料;
摘 要：为了提高电子背散射衍射技术的空间分辨率,使之能够对纳米尺度的晶粒或超细粉末进行相鉴定和取向分析,本研究通过自主设计的透射模式电子背散射衍射技术的样品台,及调整EBSD探头位置及角度,收集到清晰、完整的透射电子菊池衍射花样。研究了减薄块体样品厚度对透射电子菊池衍射花样的影响,对减薄氧化锆涂层样品进行了t-EBSD面分布分析,其结果的平均角度偏差（MAD）值仅为0.38,成功鉴定出小于30nm尺度的纳米氧化锆涂层立方相;将超声分散后的纳米TiO2粉体滴在铜网上,采用t-EBSD对纳米颗粒进行点分析,成功鉴定了锐钛矿相和金红石相TiO2,其中纳米锐钛矿TiO2粉体的最小尺寸为20nm左右,使得扫描电镜中相鉴定的最小分辨率从目前的约100nm提高到小于30nm,大大拓展了电子背散射衍射技术在纳米材料研究中的应用范围。
刘紫微，华佳捷，林初城，姜彩芬，曾毅
中国科学院上海硅酸盐研究所
摘 要：为了提高电子背散射衍射技术的空间分辨率,使之能够对纳米尺度的晶粒或超细粉末进行相鉴定和取向分析,本研究通过自主设计的透射模式电子背散射衍射技术的样品台,及调整EBSD探头位置及角度,收集到清晰、完整的透射电子菊池衍射花样。研究了减薄块体样品厚度对透射电子菊池衍射花样的影响,对减薄氧化锆涂层样品进行了t-EBSD面分布分析,其结果的平均角度偏差（MAD）值仅为0.38,成功鉴定出小于30nm尺度的纳米氧化锆涂层立方相;将超声分散后的纳米TiO2粉体滴在铜网上,采用t-EBSD对纳米颗粒进行点分析,成功鉴定了锐钛矿相和金红石相TiO2,其中纳米锐钛矿TiO2粉体的最小尺寸为20nm左右,使得扫描电镜中相鉴定的最小分辨率从目前的约100nm提高到小于30nm,大大拓展了电子背散射衍射技术在纳米材料研究中的应用范围。
关键词：透射模式电子背散射衍射;高分辨率;相鉴定;纳米材料;
