丝网印刷制P-N结
来源期刊:中国稀土学报2003年增刊第1期
论文作者:林喜斌 林安中 刘秋娣
关键词:丝网印刷; P-N结; 动力学;
摘 要:丝网印刷制P-N结和常用的源扩散制P-N结相比具有制结均匀, 可减少刻蚀时间, 氮气用量可大大减少等优点.通过对扩散的动力学研究, 了解了印刷制结的最佳扩散时间和氮气的适宜流速.在最佳扩散时间和适宜的氮气流速的条件下, 所制电池片的转换效率可达14.5左右.
林喜斌1,林安中1,刘秋娣1
(1.北京有色金属研究总院有研硅股,北京,100088)
摘要:丝网印刷制P-N结和常用的源扩散制P-N结相比具有制结均匀, 可减少刻蚀时间, 氮气用量可大大减少等优点.通过对扩散的动力学研究, 了解了印刷制结的最佳扩散时间和氮气的适宜流速.在最佳扩散时间和适宜的氮气流速的条件下, 所制电池片的转换效率可达14.5左右.
关键词:丝网印刷; P-N结; 动力学;
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