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A1含量对(Ti,Al)N膜结构性能影响的研究进展

来源期刊：稀有金属与硬质合金2007年第2期

论文作者：李国芳王顺花石宗利胡元杰

文章页码：48 - 52

关键词：(Ti,Al)N膜;晶体结构;性能影响;研究进展;

摘要：综述了Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用机理和Al含量对(Ti,Al)N膜结构、抗高温氧化、硬度、耐磨性、结合强度等的影响,指出了(Ti,Al)N膜的发展方向。

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李国芳¹，王顺花¹，石宗利²，胡元杰³

1. 兰州交通大学机电学院材料工程研究所2. 湖南大学材料学院3. 兰州铁路局

摘要：综述了Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用机理和Al含量对(Ti,Al)N膜结构、抗高温氧化、硬度、耐磨性、结合强度等的影响,指出了(Ti,Al)N膜的发展方向。

关键词：(Ti,Al)N膜;晶体结构;性能影响;研究进展;