真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜Raman光谱研究

张海泉¹，夏立芳²，张彦华¹，崔旭明¹，朱剑豪³，武咏琴¹，李刘合¹

(1.北京航空航天大学机械工程与自动化学院,北京,100083;
2.哈尔滨工业大学材料学院,哈尔滨,150001;
3.香港城市大学物理与材料科学系,香港)

摘要:分别采刚带有和不带有弯曲弧磁过滤器的真空阴极弧离子镀方法,在不同镀膜电流以及不同基片偏流下分别制备了类金痧刚石碳膜,对比了不同结构下类金刚石碳膜的Raman光潜特点.对其Raman光谱的D峰和G峰采用Gaussian-Lorentzion的几率分布进行了分峰,并着重讨论了基片偏流、弯曲磁场等沉积参数对膜结构的影响结果表明,氩分压对膜结构影响不大,较大的偏流以及弯曲磁场的加入均有利于sp3杂化碳键的形成.

关键词:Raman光谱; 类金刚石碳膜; 弯曲弧磁过滤器; 偏流;

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