金刚石薄膜/氧化铝陶瓷复合材料的应用研究
来源期刊：材料导报2010年第11期
论文作者：孟祥钦 王兵 甘孔银 王延平 何婷
文章页码：38 - 89
关键词：氧化铝陶瓷;金刚石薄膜;化学气相沉积;纳米材料;
摘 要：氧化铝陶瓷基片的广泛应用以及金刚石薄膜自身优异的物理化学性能,使得氧化铝基金刚石薄膜复合材料成为研究热点。阐述了这种复合材料不同的制备方法,综述了氧化铝基金刚石薄膜复合材料的性能,介绍了超纳米金刚石薄膜在氧化铝陶瓷基片上的应用研究,指出通过适当的基体表面预处理以及合适的工艺条件可以制备出不同用途的氧化铝基金刚石薄膜复合材料。
孟祥钦1，王兵1，甘孔银2，王延平1，何婷1
1. 西南科技大学材料学院2. 中国工程物理研究院应用电子学研究所
摘 要：氧化铝陶瓷基片的广泛应用以及金刚石薄膜自身优异的物理化学性能,使得氧化铝基金刚石薄膜复合材料成为研究热点。阐述了这种复合材料不同的制备方法,综述了氧化铝基金刚石薄膜复合材料的性能,介绍了超纳米金刚石薄膜在氧化铝陶瓷基片上的应用研究,指出通过适当的基体表面预处理以及合适的工艺条件可以制备出不同用途的氧化铝基金刚石薄膜复合材料。
关键词：氧化铝陶瓷;金刚石薄膜;化学气相沉积;纳米材料;
