FEI透射电镜高压故障维修三例

来源期刊：理化检验物理分册2013年第10期

论文作者：诸葛兰剑 张峰

文章页码：687 - 1384

关键词：透射电子显微镜;高压故障;维修;

摘    要：对FEI公司Tecnai G-20型200 kV透射电子显微镜,接连出现的三例高压故障现象、原因及维修处理方法进行了分析。结果表明:虽然都是高压故障,但产生的原因各不相同;故障一产生的原因是电缆头上原涂有的绝缘硅胶老化,使绝缘性能下降造成的,可通过重涂绝缘硅胶的方法排除;故障二产生的原因是加速极电阻损坏,造成电子枪内部放电,可通过更换损坏的放电柱和加速电阻的方法排除;而故障三是因电子枪内部的磁瓶损坏产生的,可通过对损坏磁瓶进行修复的方法排除。通过维修处理,三例高压故障都得到排除,取得了良好的效果。