富氮层快速离子渗氮工艺及机理研究
来源期刊:材料热处理学报2009年第5期
论文作者:韩莉 赵程
关键词:正交试验; 工艺优化; 富氮层; 氮浓度梯度;
摘 要:利用正交试验法对活性屏快速离子渗氮工艺参数进行优化,并对正交试验预测的优化工艺参数进行了验证.利用Fick第二扩散定律对快速离子渗氮优化工艺的富氮层进行了氮浓度、氮浓度梯度的计算.试验及计算结果表明,高温渗氮温度、高温渗氮时间和低温渗氮时间对渗层厚度的影响较大,选择合适的参数可以在渗氮时间不变、渗层硬度不降低的前提下显著增加渗层厚度.当富氮层厚度为8tam时,采用快速渗氮技术得到试样内表面与基体之间的氮浓度梯度,为传统渗氮模式的20倍以上.
韩莉1,赵程1
(1.青岛科技大学机电工程学院表面技术研究所,山东,青岛,266061;
2.海军航空工程学院青岛分院航空机械系,山东,青岛,266041)
摘要:利用正交试验法对活性屏快速离子渗氮工艺参数进行优化,并对正交试验预测的优化工艺参数进行了验证.利用Fick第二扩散定律对快速离子渗氮优化工艺的富氮层进行了氮浓度、氮浓度梯度的计算.试验及计算结果表明,高温渗氮温度、高温渗氮时间和低温渗氮时间对渗层厚度的影响较大,选择合适的参数可以在渗氮时间不变、渗层硬度不降低的前提下显著增加渗层厚度.当富氮层厚度为8tam时,采用快速渗氮技术得到试样内表面与基体之间的氮浓度梯度,为传统渗氮模式的20倍以上.
关键词:正交试验; 工艺优化; 富氮层; 氮浓度梯度;
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