组合法制备Pb(ZrxTi1-x)O3铁电薄膜及性能研究
来源期刊：材料科学与工艺2014年第4期
论文作者：何岗 彭超 赵德森 何明中 洪建和 栗海峰 公衍生
文章页码：25 - 29
关键词：化学溶液分解;组合合成;Pb（ZrxTi1-x）O3;薄膜;铁电性;
摘 要：为了系统地探讨Pb（ZrxTi1-x）O3（PZT）薄膜组成-结构-性能之间的规律,在室温和无蒸馏回流条件下,利用配制的前驱溶液PT（Pb和Ti的金属有机物溶液）和PZ（Pb和Zr的金属有机物溶液）及组合化学法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上简单快捷地制备了一系列Pb（ZrxTi1-x）O3薄膜.XRD分析表明,薄膜具有钙钛矿结构,择优取向为（111）,晶格参数变化规律与传统方法制备的PZT薄膜的结果一致.x=0.3的前驱体在200℃附近出现特殊的热分解现象.XPS测试结果证实薄膜成分基本符合理论值,SEM结果显示薄膜界面清晰,与基片接触良好,厚度在450 nm左右.电滞回线测试表明,富钛区样品剩余极化与矫顽场都较大;近准同型相界附近样品具有良好的铁电性,剩余极化较大且矫顽场较小;富锆区样品剩余极化与矫顽场较小,出现反铁电特征.
何岗，彭超，赵德森，何明中，洪建和，栗海峰，公衍生
中国地质大学(武汉)材料与化学学院
摘 要：为了系统地探讨Pb（ZrxTi1-x）O3（PZT）薄膜组成-结构-性能之间的规律,在室温和无蒸馏回流条件下,利用配制的前驱溶液PT（Pb和Ti的金属有机物溶液）和PZ（Pb和Zr的金属有机物溶液）及组合化学法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上简单快捷地制备了一系列Pb（ZrxTi1-x）O3薄膜.XRD分析表明,薄膜具有钙钛矿结构,择优取向为（111）,晶格参数变化规律与传统方法制备的PZT薄膜的结果一致.x=0.3的前驱体在200℃附近出现特殊的热分解现象.XPS测试结果证实薄膜成分基本符合理论值,SEM结果显示薄膜界面清晰,与基片接触良好,厚度在450 nm左右.电滞回线测试表明,富钛区样品剩余极化与矫顽场都较大;近准同型相界附近样品具有良好的铁电性,剩余极化较大且矫顽场较小;富锆区样品剩余极化与矫顽场较小,出现反铁电特征.
关键词：化学溶液分解;组合合成;Pb（ZrxTi1-x）O3;薄膜;铁电性;
