工艺参数对Ti_0.33Al_0.67N梯度膜层形貌及性能的影响

张会霞¹，杨建明¹，冯光光²，战宏伟³

1. 淮海工学院机械工程学院2. 江苏科技大学材料学院3. 江苏绿源工程设计研究有限公司

摘 要：研究基体负偏压、氮分压及合金靶电流等工艺参数对Ti0.33Al0.67N梯度膜层性能的影响。结果表明,Ti0.33Al0.67N梯度膜层随着各工艺参数的增大表面形貌得到改善、沉积率增大,当超过某一个值时,却随着参数的增加形貌恶劣、沉积率降低。工艺参数对膜层显微硬度影响的次序为:TiAl合金靶电流>基体负偏压>氮分压。对膜基结合力影响次序为:基体负偏压>氮分压>TiAl合金靶电流。在试验设计的参数水平范围内,在齿轮材料40Cr表面较优的镀覆工艺参数:基体负偏压150 V、TiAl靶电流60 A、氮分压0.5 Pa。

关键词：梯度膜层;工艺参数;Ti0.33Al0.67N;