AZO靶材热压致密化过程中晶粒生长规律研究
来源期刊：粉末冶金技术2017年第5期
论文作者：石季平 白雪 刘宇阳 王星明 储茂友 段华英 韩沧
文章页码：335 - 341
关键词：铝掺杂氧化锌;热压;靶材;晶粒;
摘 要：分别以98:2（质量比）的ZnO–Al2O3混合粉体和预处理粉体为原料,在不同热压温度、压力、保温时间下,采用原位热压工艺制备铝掺杂氧化锌（Al-doped ZnO,AZO）靶材。通过扫描电子显微镜和透射电子显微镜观察靶材晶粒形貌、阿基米德法测定试样密度、X射线衍射仪分析物相组成以及晶粒大小,四探针测试电阻率,研究靶材热压致密化过程中的晶粒生长规律及细晶高密靶材的制备工艺。结果表明:热压温度为900℃时,晶粒尺寸与原料粉体接近,颗粒之间只形成烧结颈,扩散反应不完全,掺杂替位效应弱,电阻率为0.284W×cm;热压温度上升至1000℃时,ZnO蒸发凝聚形成众多小颗粒导致衍射峰宽化,颗粒之间逐渐结合紧密,Al原子替位效应增强,电阻率降低至0.093W×cm;在热压温度为11001150℃时,靶材相对密度不断上升,体系中形成众多的岛状细晶,电阻率下降至1.5′10-4W×cm;在温度1100℃时,随着压力的升高,靶材相对密度从15 MPa时的88.00%上升到35 MPa时的95.60%,晶粒尺寸略有减小;在热压温度1150℃时,随着保温时间的延长,晶粒尺寸生长有限,靶材的反致密化现象与晶粒生长无关。煅烧混合粉体在热压温度1150℃,压力18 MPa,保温时间90 min时,靶材相对密度最高达96.28%,电阻率低至1.6′10-4W×cm,扫描电子显微镜观察晶粒细小,满足溅射靶材的性能要求。
石季平1，白雪2，刘宇阳2，王星明2，储茂友2，段华英2，韩沧2
1. 清华大学附属中学2. 北京有色金属研究总院稀有金属与冶金材料研究所
摘 要：分别以98:2（质量比）的ZnO–Al2O3混合粉体和预处理粉体为原料,在不同热压温度、压力、保温时间下,采用原位热压工艺制备铝掺杂氧化锌（Al-doped ZnO,AZO）靶材。通过扫描电子显微镜和透射电子显微镜观察靶材晶粒形貌、阿基米德法测定试样密度、X射线衍射仪分析物相组成以及晶粒大小,四探针测试电阻率,研究靶材热压致密化过程中的晶粒生长规律及细晶高密靶材的制备工艺。结果表明:热压温度为900℃时,晶粒尺寸与原料粉体接近,颗粒之间只形成烧结颈,扩散反应不完全,掺杂替位效应弱,电阻率为0.284W×cm;热压温度上升至1000℃时,ZnO蒸发凝聚形成众多小颗粒导致衍射峰宽化,颗粒之间逐渐结合紧密,Al原子替位效应增强,电阻率降低至0.093W×cm;在热压温度为11001150℃时,靶材相对密度不断上升,体系中形成众多的岛状细晶,电阻率下降至1.5′10-4W×cm;在温度1100℃时,随着压力的升高,靶材相对密度从15 MPa时的88.00%上升到35 MPa时的95.60%,晶粒尺寸略有减小;在热压温度1150℃时,随着保温时间的延长,晶粒尺寸生长有限,靶材的反致密化现象与晶粒生长无关。煅烧混合粉体在热压温度1150℃,压力18 MPa,保温时间90 min时,靶材相对密度最高达96.28%,电阻率低至1.6′10-4W×cm,扫描电子显微镜观察晶粒细小,满足溅射靶材的性能要求。
关键词：铝掺杂氧化锌;热压;靶材;晶粒;
